Tarča za razprševanje iz titanadostava stranki 13. dec
Ime izdelka Okrogla tarča iz titana
Razred Gr1 Gr2 Gr3 Gr5 (Ti6al4v)
Standardna tarča iz titana: tehnični pogoji: v skladu z ASTM B34897
Tarča iz titanove plošče: tehnični pogoji: v skladu z ASTM B265-93
Specifikacija: skupna specifikacija: 60/65/95/100 * 30/32/40/45 mm
Ciljna plošča: (8-25 mm * (150-300) mm * (1000-2500) mm
Ciljna cev: 70 mm * 7 mm/10 mm
Površinsko poliranje je lahko navojno
Značilnosti: lahek, odlična odpornost proti koroziji, odpornost proti koroziji, visoka trdnost, dobra toplotna odpornost, dobra duktilnost, nestrupen, nemagneten, odlična mehanska trdnost itd.
Stanje Stanje žarjenja (M) Stanje vroče obdelave (R) Stanje hladne obdelave (Y) (žarjenje, ultrazvočno odkrivanje napak)
Uporaba: Uporablja se v napravah za ločevanje polprevodnikov, ploščatih zaslonih, folijah za elektrode za shranjevanje, premazih z brizganjem, površinskih premazih obdelovancev, industriji steklenih premazov
Čistost je eden od glavnih indikatorjev učinkovitosti titanovih tarč, saj ima čistost tarče velik vpliv na učinkovitost filma. Vendar pa so v praktičnih aplikacijah tudi zahteve glede čistosti tarče drugačne. Silicijevi čipi so zdaj veliki od 6 palcev do 8 palcev do 12 palcev, širine ožičenja pa so se zmanjšale z 0.5 um na 0.25 um, 0.18 um ali celo 0.13 um, zahvaljujoč hitremu napredku industrije mikroelektronike. Prej je lahko 99,995 odstotka ciljne čistosti izpolnilo procesne zahteve 0.35 um IC, medtem ko je 99,999 odstotka ali celo 99,9999 odstotkov ciljne čistosti potrebno za pripravo 0.18 um črt .
Primarni viri onesnaženja za nanesene filme so nečistoče v ciljni trdni snovi ter kisik in vodna para v porah. Različni ciljni materiali imajo različne zahteve za različno vsebnost nečistoč. Na primer, cilji iz čistega aluminija in aluminijevih zlitin, ki se uporabljajo v industriji polprevodnikov, imajo posebne zahteve glede vsebnosti alkalijskih kovin in vsebnosti radioaktivnih elementov.
Tarča mora imeti običajno visoko gostoto, da se zmanjša poroznost v trdni tarči in izboljša učinkovitost napršenega filma. Na električne in optične lastnosti filma poleg hitrosti razprševanja vpliva tudi ciljna gostota. Film je boljši, čim večja je ciljna gostota. Poleg tega lahko tarča bolje preživi toplotni stres med postopkom naprševanja, tako da postane gostejša in močnejša. Gostota je tudi eden ključnih kazalnikov uspešnosti cilja.
